描述

六氟化硫在許多應(yīng)用中仍是必須的，作為一種示蹤、保護或絕緣氣體。由于SF6的高溫室效應(yīng)，對氣體的負(fù)責(zé)任處理變得更加重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-%傳感器適用于需要精確和可靠的廣泛應(yīng)用領(lǐng)域。

應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)：SF6用于等離子蝕刻工藝，在半導(dǎo)體材料如硅、二氧化硅和其他化合物上創(chuàng)建精確圖案。該氣體被用在特殊的蝕刻室中，通過施加高頻能量轉(zhuǎn)化為等離子體。這個等離子體然后選擇性地與材料反應(yīng)，使得在一個非常受控和準(zhǔn)確的過程中精確地雕刻或移除材料。

在鋁的生產(chǎn)中，六氟化硫被用作示蹤氣體，以提高生產(chǎn)效率并盡早檢測潛在問題。它還用于監(jiān)測最終產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性。

能源技術(shù)：在電力供應(yīng)領(lǐng)域，SF6被用作高壓開關(guān)設(shè)備和變壓器中的絕緣氣體和冷卻介質(zhì)。測量六氟化硫?qū)τ谠缙谧R別泄漏以及監(jiān)測系統(tǒng)狀況非常重要。

測量精度

我們的NDIR氣體傳感器在測量和監(jiān)測六氟化硫時能夠獲得精確的結(jié)果。通過10點線性化，在整個測量范圍內(nèi)，測量的氣體濃度的最大偏差小于1%。

傳感器可靠地檢測最小氣體濃度，以識別氣體混合物中的最微小變化。您可以自由選擇應(yīng)用程序的測量范圍，例如從整個0到100 vol.-%的測量范圍中的90 vol.-%。

由µP.sens壓力傳感器在樣品池塊中補償任何因壓力波動或氣壓變化引起的偏差（< 0.1 % / 10 hPa），消除了潛在的泄漏或測量值的偽造。通過將壓力傳感器集成到樣品池塊中，與類似傳感器相比，模塊的整體空間需求減少了。

每個傳感器都確保了溫度補償。每個模塊的測試和校準(zhǔn)在氣候室中進行，使用特定濃度的測試氣體在測量過程中記錄和調(diào)整誤差曲線。測試和校準(zhǔn)在5至45攝氏度的傳感器操作范圍內(nèi)進行，包括零點和跨度點，以及傳感器操作范圍內(nèi)的其他典型溫度。最大偏差每10K小于1%。

功能范圍

RS232和CAN-Bus數(shù)字接口是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配置。使用可選配件和MARSlight軟件為您的配置選擇一個接口。遵循軟件手冊中的說明。

樣品池針對測量高達100%體積比的六氟化硫進行了優(yōu)化。

與常規(guī)傳感器相比，我們的傳感器允許在300 - 1200 hPa的寬壓力范圍內(nèi)進行測量。例如，傳感器適合更高地理位置或需要負(fù)壓測量的系統(tǒng)。

使用壽命

陽極氧化鋁氣體連接塊確保在惡劣環(huán)境條件下的長壽命和可靠性。不銹鋼氣體連接進一步增強了耐用性。

在操作溫度范圍內(nèi)進行的氣候室測試消除了組件的過早故障。

安裝和操作

免費下載MARS light軟件用于氣體傳感器，立即開始使用您的氣體傳感器。軟件消除了創(chuàng)建自己的軟件的需要，并在初始測試測量上節(jié)省時間。傳感器消耗不到1瓦，可以使用電池供電的設(shè)備。易于集成，具有9到30伏的寬電壓范圍，使其可以連接到大多數(shù)現(xiàn)有系統(tǒng)。

根據(jù)具體需求，分析前可能需要對氣體進行預(yù)冷或加熱。為了防止樣品池中的潛在氣體凝結(jié)效應(yīng)，可以監(jiān)測測量系統(tǒng)中的氣體溫度。

我們的模塊化設(shè)計使清潔和維護變得簡單，不同于許多同類產(chǎn)品。

有關(guān)安裝和操作的詳細(xì)信息可以在用戶手冊中找到。

我們的數(shù)據(jù)表簡要列出了最重要的技術(shù)細(xì)節(jié)。我們將很高興就您個別的問題和要求提供咨詢。

應(yīng)用

l在高功率應(yīng)用中的泄漏監(jiān)測

l絕緣氣體的監(jiān)測

l絕緣氣體的質(zhì)量保證

產(chǎn)品優(yōu)勢

l壓力值和氣壓變化的最小偏差（< 0.1% / 10 hPa）

l工業(yè)上常用的接口可用

l由于高質(zhì)量材料而維護成本低

l可用于電池供電設(shè)備

l可以監(jiān)測測量系統(tǒng)中的氣體溫度

l維護和清潔輕松完成

特點

l10點線性化

l通過集成壓力傳感器進行壓力補償

l溫度補償

l數(shù)字接口RS232/CAN-Bus

l具有高化學(xué)抗性的堅固設(shè)計

l可測量氣體溫度

l模塊化設(shè)計

l對CF4沒有交叉靈敏度

技術(shù)參數(shù)

1.                      零點氣體測量：氮氣；相關(guān)條件為Pa = 1020 hPa；Ta = 25°C；流量 = 1 l/min。

2.                      完整規(guī)格，取決于環(huán)境條件。

3.                      在零點處。

4.                      具有量程溫度補償。

5.                      建議在穩(wěn)定的氣候條件下使用，請檢查露點注意事項。

機械制圖

俯視圖

前視圖

側(cè)視圖

產(chǎn)品概述